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真空烤箱 可程式真空箱 自動真空烘箱專為干燥熱敏性、易分解和易氧化物質而設計,能夠向內部充入惰性氣體,特別是一些成分復雜的物品也能進行快速干燥。
氮氣潔凈烘箱 光刻膠無塵烘箱 百級烘箱 適用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、MEMS、醫藥、實驗室等生產及科研.
堅膜烘箱 百級潔凈烘箱 氮氣無塵烘箱是通過加溫烘烤使膠膜更加牢固的粘附在晶圓表面,并可以增加膠層的抗刻蝕能力的一道光刻膠工藝。
六箱體氮氣烘箱,多倉式潔凈烘箱選配功能: 輔助降溫:水冷、風冷降溫 操作界面:人機界面+PLC,工控電腦 錄入信息:掃碼槍 監測功能:氧含量分析儀等
精密高溫熱板,掩膜版加熱臺采用高性能電熱管加熱,升溫快,熱效率高,使用壽命更長,維護簡單;
潔凈無氧烘箱,氮氣無氧 烘箱用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業.半導體晶片、半導體封裝和MEMS器件的批量生產。主要用于PI/CPI固化,BCB固化,PBO固化,LCP纖維熱處理。
后曝光氮氣烘箱,PEB無塵烘箱所使用的高溫(100-130°C)會使光敏化合物擴散,從而消除駐波波紋.百級潔凈度無塵化,專用于半導體,集成電路。